반도체 etching source의 기술 및 연구 동향

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

반도체 소자의 Critical issue와 미래

강태원

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

100㎚급 이하 소자에서 Deep Small Contact Hole Etching시 선택비와 RIE - lag 에 관한 연구

여상원 ,  전정식 ,  지경구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

에너지절감 차세대 GaN 반도체 소자

문재경 ,  배성범 ,  안호균 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

차세대 반도체 소자용 전유전물질 개발과 현황

최치규

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching

Dong Geun Yoo ,  Myoung Hwa Kim ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

반도체 나노구조의 전기적 특성 향상

조민혁 ,  최찬호 ,  신재철

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

반도체 나노구조 제작 및 광전자 소자 응용

유재수

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Satistical Analysis of SiO₂ Contact Hole Etching in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Reactor

Chunli Liu ,  B. Sh ,  aune

Journal of Magnetics

2010 .09

Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

산화물반도체소자의 전기-광학적 특성

오데레사

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

차세대 고집적 반도체 소자의 박막형성 기술

천희곤

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

반도체 / 자성체 혼성 나노구조체의 전하 - 스핀 제어를 위한 금속산화물 반도체 및 자성반도체 양자점 전자소자

김재훈 ,  김은규 ,  이창효 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

ETCHING TIME DEPENDENCE OF MAGNETIC PROPERTIES IN ONE SIDE ETCHED Co - BASED RIBBON

Lan Jin ,  CheolGi Kim ,  SeokSoo Yoon 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .06

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma

Kim ,  Gwang-Beom ,  Hong 외 1명

동굴

2007 .01