플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching

오정화 ,  공대영 ,  조준환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Reactive Ion Etching of NiFe Film with Organic Resist Mask and Metal Mask by Inductively Coupled Plasma

Tomomi Kanazawa ,  Shin-ichi Motoyama ,  Takayuki Wakayama 외 2명

Journal of Magnetics

2007 .06

Multi-crystalline Silicon Solar Cell with Reactive Ion Etching Texturization

Seok Gi Pa ,  k ,  Min Gu Kang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

RIE 에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 연구

양정승 ,  윤의준

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Size effect of TiO2 nanoparticles on transparency and hydrophobicity of PDMS thin films deposited on them

Na ,  anchimeg Munkhbaata ,  Ilhwan Ryu 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RIE에서 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄ 식각공정 개발

전성찬 ,  공대영 ,  정동건 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

100㎚급 이하 소자에서 Deep Small Contact Hole Etching시 선택비와 RIE - lag 에 관한 연구

여상원 ,  전정식 ,  지경구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Enhanced Light trapping Approaches utilizing ICP-RIE dry etching for high efficiency P-I-N Thin-Film Silicon Solar Cells

김명준 ,  김정수 ,  신동기 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Fabrication of Microwire Arrays for Enhanced Light Trapping Efficiency Using Deep Reactive Ion Etching

황인찬 ,  서관용

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

SF6플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 식각공정에서의 미세 식각형성 특성에 관한 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1995 .03

RIE 표면 텍스쳐링 모양에 따른 결정질 실리콘 태양전지의 영향

박인규 ,  윤명수 ,  현덕환 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .07

Study on Reactive Ion Etching of PRAM material using Hydrogen based Gases

김주은 ,  김두산 ,  길유정 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

Eun Ho Kim ,  Yu Bin Xiao ,  Hwa Won Lee 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

Generation of hydrophobicity on the surfaces of nano and other materials using atmospheric plasmas

Jeong-Won Kim ,  Soon-Gook Cho ,  Kwang-Cheol Ko 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Honeycomb structure using ICP-RIE dry etching for improved light management in HIT solar cell

Sangho KIM ,  Jinjoo PARK ,  Duy Phong PHAM 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

대기압 플라즈마 소스로 식각한 Wafer 반사율 분석

권희태 ,  이예슬 ,  황상혁 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Microfabrication of submicron - size hole for potential field emission and near field optical sensor applications

이주원 ,  최성수 ,  김종우 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .05

Formation of CeO₂ nanoparticles by solution process for hydrophobic applications

Rizwan Khan ,  권우혁 ,  이영학 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08