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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.2
- 수록면
- 76 - 76 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
2005
Properties of magnetron sputtering cathodes having high deposition rate and wide erosion area
Jang Sick Pa
,
k
,
Tae Woo Kim
외 5명
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005.05
학술대회자료
Thin films making by magnetron sputtering cathode having high deposition rate and wide erosion area
Jang Sick Pa
,
k
,
Tae Woo Kim
외 5명
한국진공학회 학술발표회초록집
2005.02
학술대회자료
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