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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
186 - 189 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

RF Magnetron Sputtering법에 의한 결정성 MgO 박막의 형성과 Plasma Damage 현상
손충용 ,  조진희 ,  박정원 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료
RF Magnetron Sputtering법에 의해 형성된 MgO 박막의 결정성과 Plasma Dmage에 미치는 영향
손충용 ,  박정원 ,  조진희 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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목차

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

5. 참고문헌

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