Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Kinetic Simulation of Magnetron Sputter

C. H. Shon ,  J. K. Lee ,  H. J. Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Morphological Structural and Electrical Properties of DC Magnetron Sputtered Mo Thin Films for Solar Cell Application

Rong Fan ,  Sung Hee Jung ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

고균일 Al 박막 증착을 위한 magnetron sputtering system 개발

이재희 ,  황도원

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

Two-Dimensional DC Magnetron Sputtering Simulator for Cylindrical Rotating Target

김진석 ,  이정열 ,  김민경 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Comparision of Measurement and Calculation for Thin Films Thickness Distribution Coated by Magnetron Sputter System

Jang-Sick Pa ,  k ,  Ji-Young Oh 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Design and Analysis of Permanent Magnet Array for Development of Large Area Magnetron Sputtering Sources

Ye-Lim Lee ,  Rambabu Kuchi ,  S 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .11

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Three-dimensional Self-consistent Particle-in-cell and Monte Carlo Collisional Simulation of DC Magnetron Discharges

Seong Bong Kim ,  Hyonu Chang ,  Suk Jae Yoo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Diagnostics of Magnetron Sputtering Plasmas : Distributions of Density and Velocity of Sputtered Metal Atoms

Koichi Sasaki

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Properties of ZnO with Changing O₂ Flux grown by R.F magnetron sputtering

K. H. Pa ,  k ,  Yonghan Roh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Enhanced Si based negative electrodes using RF/DC magnetron sputtering for bulk lithium ion batteries

황창묵 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질

이종화 ,  이원종

한국자기학회지

1993 .06