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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제14회 학술발표회논문개요집
발행연도
1998.2
수록면
114 - 115 (2page)

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Photoreflectance (PR) measurement have been employed to study the uniformity of GaAs/Si 3" wafer. The PR shows the energy of light and heavy hole even at room temperature. From the observed energy of LH an ... 전체 초록 보기

목차

Abstract

1. Introduction

2. Experimental

3. Results and Discussions

4. Conclusions

References

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