지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1998.2
- 수록면
- 105 - 106 (2page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Evaluation of defects by etch-pit formation was studied. A NaOH(30 ㏖%) etchant was found useful for etch-pit development on ZnSe-based epilayers grown on (001) GaAs. And, a H₃PO₄(85 ㏖%) was used in order to develop etch-pits on GaN-based epilayers grown on (0001) Al₂O₃. After etch-pit formation on the surface, Transmission Electron Microscopy(TEM) was conducted. By etch-pit development and TEM observation, we could determine the defect types by etch-pit configurations and found origin of etch-pit in the case of ZnSe-ba ... 전체 초록 보기
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
-
Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
-
Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
-
ETCHING TIME DEPENDENCE OF MAGNETIC PROPERTIES IN ONE SIDE ETCHED Co - BASED RIBBON
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .06
-
원자층 식각기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma
동굴
2007 .01
-
Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선
Applied Science and Convergence Technology
2011 .09
-
C₃F6O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
-
Applications of fluid based plasma simulation : dry etch
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
Satistical Analysis of SiO₂ Contact Hole Etching in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Reactor
Journal of Magnetics
2010 .09
-
Plasma Etching Process based on Real-time Monitoring of Radical Density and Substrate Temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
반도체 etching source의 기술 및 연구 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
-
Fabrication of GaN Ring Structure with Broad-band Emission Using MOCVD and Wet Etching Techniques
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구
Applied Science and Convergence Technology
1994 .03
-
Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2010 .12
-
The Effect of Three-Dimensional Morphology with Wet Chemical Etching in Solar Cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
-
Research on the Present Condition and Architecture Form of Pit Kilns in Western He’nan of China
한국주거학회논문집
2020 .10
-
Microfabrication of submicron - size hole for potential field emission and near field optical sensor applications
Applied Science and Convergence Technology
2000 .05
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018027861