Formation of Graphene-Seeds on Silicon Nitride Using Chemical Vapor Deposition

강도연 ,  박세근 ,  이준영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride

Luchana L. YUSUP ,  Jae-Min PARK ,  Ti 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Characterization of Low Stress Silicon Nitride for Stacked structure application

Kyoung Pil Na ,  So-Yeon Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Density Functional Theory Study of Silicon Chlorides for Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride Thin Films

Luchana L. Yusup ,  Sung-Joo Woo ,  Jae-Min Pa 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구

이중환 ,  권오준 ,  전무식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

High Density Plasma Nitrogen Implantation을 이용한 Silicon Nitride 형성

김태호 ,  김형석 ,  김지영

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Silicon nitride cleaning by F₂ / Ar remote plasma processing

J. Y. Hwang ,  S. C. Kang ,  N. E. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Magnetism in Boron Nitride Monolayer: Adatom and Vacancy Defect

JeongHwa Yang ,  Dongyoo Kim ,  Jisang Hong 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

Optical properties of silicon nitride films by plasma - enhanced chemical vapor deposition

Changhun Ko ,  Chlyoung Ham ,  Heesoo Han 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

The effect of thermal anneal on luminescence and photovoltaic characteristics of B doped silicon-rich silicon-nitride thin films on n-type Si substrate

Se-Young Seo ,  In Yong Kim ,  Seung Hui Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Magnetic Properties of Monolayer Co on W Substrates

T. H. Rho ,  S. C. Hong

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Behaviour of nitrided layer formed on S45C carbon steel during gaseous nitriding

손석원 ,  유광춘 ,  이원범

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD

Jae Eun Kim ,  Kyung Dong Lee ,  Yoonmook Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Optical and Electrical Characteristics of Si Nano-dots Embedded in Silicon Nitride Thin Film

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Jeongho Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Growth of Hexagonal Boron Nitride Thin Films on Silicon Using a Single Source Precursors

Jin-Hyo Boo ,  Soon-Bo Lee ,  Casten Roh 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor

Kyeong-Keun CHOI ,  Kee JONG ,  Jeong-Yoon LEE 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Dopant concentration dependent resistive switching characteristics in silicon nitride-based memory devices

Sungjun KIM ,  Min-Hwi KIM ,  Tae-Hyeon KIM 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Silicon nitride layer를 통한 1.3㎛ InAs QD laser diodes의 특성향상

정정화 ,  김현재 ,  유영채 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Surface-Enhanced Raman Spectroscopic Studies of Oriented Monolayers on Electrode Surfaces

Wan-Shik Yoon ,  Jung-Hyuk Im ,  Jae-Ho Kim

분석과학

1995 .12