차세대 반도체 소자용 전유전물질 개발과 현황

최치규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최치규

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제17회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.7

수록면: 155 - 155 (1page)

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