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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험 결과
4. 참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
진공 부품용 플라즈마 전해산화 피막과 Anodizing 피막의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
수소 플라즈마 광진단을 위한 CR 모델 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
수소 원자에 의한 실리콘(100)에 화학 흡착된 수소 추출
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Remote Plasma를 이용한 실리콘 산화막에 대한 건식세정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Electrical characteristics of lateral poly - silicon field emission triode using LOCOS process
Journal of Korean Vacuum Science & Technology
1999 .04
KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
플라즈마를 이용한 고내마모 / 고내식 산화피막 형성방법
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
실리콘 결정의 수소 흡수 : Si(100) vs. Si(111)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
플라즈마 이온주입(Plasma Immersion Ion Implantation, PIII)방법으로 Boron 도핑된 실리콘 기판의 도펀트 활성화와 기판손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
레이저 결정화 다결정 실리콘 기판에서의 게이트 산화막두께에 따른 1T-DRAM의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
수소 플라즈마 전처리 공정을 이용한 EM 저항성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
Solar Grade 실리콘 기판특성에 따른 태양전지 성능분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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