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KSTAR 방전세정시스템의 성능향상을 위한 운전 결과 평가 및 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정 시스템 설계
Applied Science and Convergence Technology
2007 .09
CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
RF / DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2001 .10
KSTAR ICRF 방전세정 플라즈마의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
2009 KSTAR ICRF 방전세정 플라즈마의 불순물 제거 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
건식세정기술의 세정효율 평가방법구축에 대한 연구
한국대기환경학회 학술대회논문집
2007 .10
강설에 의한 대기 중 입자의 세정 효과 연구
대기
2002 .04
기상인자의 변화에 의한 PM10 및 NO₂의 세정 및 분산영향의 정량적 기여도 추정
한국대기환경학회 학술대회논문집
2012 .05
반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
강수 및 대기오염물질 빈도분포에 따른 세정효과
한국기상학회 학술대회 논문집
2013 .10
태양전지 자기세정 코팅을 위한 스퍼터링되어진 TiO₂ 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Remote Plasma를 이용한 실리콘 산화막에 대한 건식세정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
KSTAR 장치 개발 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
고온 고압 집진을 위한 역세정 유동장의 특성에 관한 연구
한국대기환경학회지(국문)
2003 .02
강수강도와 지속시간에 따른 주요 대기오염물질의 세정효과
한국기상학회 학술대회 논문집
2014 .04
모멘트 방법을 이용한 강수 중 대기 입자의 세정 계수의 예측
한국기상학회 학술대회 논문집
2005 .04
Capillary electrode를 이용한 대기압 plasma의 특성 및 표면세정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
확산 방지막의 표면 세정이 촉매 Cu - MOCVD에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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