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E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
La0.88Sr0.12MnO₃ 박막의 증착 조건 및 물리적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
최근의 투명 박막증착기술의 동향
포장계
1999 .01
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
전자빔 증착법에 의해 증착된 MgO - SrO - CaO 박막의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
플라스틱 기판 위의 MgO박막 증착 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Hexamethyldisiloxane과 Neohexane 단량체를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 갖는 박막의 증착파워 변화에 따른 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
아크로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
Si기판 위에 증착 된 Co 박막 계면의 자기적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2012 .05
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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