Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Hybrid Organic-Inorganic Films Fabricated Using Atomic and Molecular Layer Deposition Techniques

Steven M. Geo ,  ge

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Fabrication and Characterization of Organic-Inorganic Hybrid Thin Films

C.T.T.Huong ,  Myung Mo Sung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Deposition of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Characterization of Their Properties on Different O₂ Concentrations

S. H. Jeong ,  Y. S. Shin ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Deposition of ZrO₂ thin films using RF magnetron sputtering and characterization of their physical properties on different O₂ concentrations

Y. S. Shin ,  S. H. Jeong ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Fabrication and Characterization of Metal Layer Fabricated by Aerosol Deposition

김윤현 ,  김형준 ,  남송민

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

[Invited Talk] Heterogeneous Catalysts Fabricated by Atomic Layer Deposition

Young Dok Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Preparation of ZrO₂ layer on Si(111)

정현숙 ,  김창민

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

수송가스 도움 전구체 공급 장치를 이용한 ZrO₂ 박막의 원자층 증착(Atomic Layer Deposition) 기술

신웅철 ,  류상욱 ,  성낙진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Multilayer barrier film fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

Chang-Kyu Jin ,  Do-Kyung Hwang ,  Tae-Hwan Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Atomic Layer Deposition of Lanthanum Oxide (La₂O₃) Thin Film on Si(100) Substrate and Electrical Characterization

조상진 ,  박남균 ,  강동균 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

The diagnosis of Al₂O₃ atomic layer deposition using quadrupole mass spectrometry and characterization

Go ,  u KANG ,  Jin-Tae KIM 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Electrical Properties of Copper Oxide Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Byung Kook Lee ,  Jae Ki Min ,  Sun Sook Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Characteristics of ZnO thin film by atomic layer deposition for film bulk acoustic resonator

홍철광 ,  정수봉 ,  김수길 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02