Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition

김경문 ,  윤순길 ,  정낙관

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Deposition and characterization of Ti - Al - N thin films deposited by plasma - assisted atomic layer deposition

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Low - temperature atomic layer deposition of AlN thin films using plasma interactions

Yong Ju Lee ,  Sang-Won Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Multilayer barrier film fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

Chang-Kyu Jin ,  Do-Kyung Hwang ,  Tae-Hwan Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Synthesis and Characterization of SnO2 Thin Films Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Using SnCl4 Precursor and Oxygen Plasma

이동권 ,  김다영 ,  권세훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Fluorinated amorphous carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition with C₄F8 and Si₂H6 / He for low dielectric constant intermetallic layer dielectrics

Howoon Kim ,  Jang-Kyoo Shin ,  Dae-Hyuk Kwon 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .12

Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

김호준 ,  이승무 ,  원제형

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Chang Hoon Song ,  Won Kyun Yeom ,  Doo San Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source

You Jin Ji ,  Ki Hyun Kim ,  Ki Seok Kim 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 Al₂O₃와 ZrO₂ 박막의 증착 및 특성 연구

윤선진 ,  임정욱 ,  이진호

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Atomic layer deposition of high - k dielectric lanthanum oxide(La₂O₃) thin films on SiO₂(100) substrate

조상진 ,  박남균 ,  하정숙 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

UV - enhanced Atomic Layer Deposition(ALD) of TiO₂Thin Films

권용준 ,  장영진 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition

김세준 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Fabrication and Characterization of Organic-Inorganic Hybrid Thin Films

C.T.T.Huong ,  Myung Mo Sung

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Ellipsometric study on the temperature dependent dielectric function of SrTiO₃

Han Gyeol PARK ,  Tae Jung KIM ,  Mangesh S. DIWARE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

PEALD과 ALD을 이용한 다공성 기판의 증착 특성 비교

강고루 ,  차덕준 ,  김진태 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Fabrication and magnetic properties of epitaxial La_0.7Sr_0.3MnO₃ thin film on SrTiO₃ (001) substrate

Dae-Gil Yoo ,  Young-Min Kang ,  A.N. Ulyanov 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .06