Reliable Thickness Measurement of Ultra-thin SiO2 Films using XPS by Precise Setting of the Surface Normal

Kyung Joong Kim; Dae Won Moon

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Kyung Joong Kim Dae Won Moon

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제31회 학술논문발표회 초록집

발행연도: 2006.8

수록면: 88 - 88 (1page)

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Kyung Joong Kim

소속기관 Korea Research Institute of Science and Standard

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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Dae Won Moon

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 29 이용수 196

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-017338143

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