MICP를 이용한 Plastic 기판 위에 증착된 ITO Thin Film의 Dry Etching 특성

정창현; 김정식; 한혜리; 배정운; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정창현 김정식 한혜리 배정운 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제19회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.7

수록면: 55 - 55 (1page)

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018016780

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