Si / SiGe Epitaxial Growth by UHV - CVD

송석찬 ,  임승현 ,  이승윤 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Low - temperature silicon epitaxy by UHV - CVD

이홍로 ,  임승현 ,  박진원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

UHV - CVD와 UHV - ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구

박진원 ,  임승현 ,  여환국 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

UHV 시스템 및 FED Test 장비

정승민

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Structure of Ni / Si(100) system using UHV Scanning Tunneling Microscope

Y. -H. Khang ,  D. Jeon ,  Y. Kuk

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Polycrysatlline SiGe Layers Grown by UHV - CVD

박진원 ,  여환국 ,  임승현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

UHV Glass Packaging of the Si Field Emitter Array for Display

류경선 ,  권상직 ,  우형수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

CVD - W/p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)의 전기적 및 계면적 특성에 관한 연구

장영철 ,  신동욱 ,  김기수 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

UHV - LCVD 장치를 이용한 박막제작에 관한 연구 (Ⅰ) - 장치 제작을 중심으로 -

최원국 ,  윤덕주 ,  공병인 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .06

UHV Scanning Tunneling Microscope

구자용

진공이야기

2016 .03

SiC 단결성 성장 (승화법을 중심으로)

방욱

한국결정학회 학술연구발표회

2000 .01

Generation of UHV with a dry turbo- and backing pump combination

And ,  eas SCHOPPHOFF

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

UHV - ECRCVD에 의한 Si과 SiGe 에피막의 전기적 특성

황석희 ,  윤의준 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

범업계 단결로 희망의 미래를

홍우동

포장계

2006 .01

UHV - ECRCVD에 의한 SiGe / Si 이종접합 다이오드

황석희 ,  윤의준 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

XPS Study of Ionic Liquid Solutions in UHV

Ji-Hye Kwon ,  Y. C. Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

CVD로 성장한 ZnS의 깊이 방향 특성 분석

한원석 ,  김성복 ,  권인회 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

실리콘 기판 위에 UHV - ICB 증착법으로 적층 성장된 Y₂O₃박막의 BS / channeling 연구

김효배 ,  조만호 ,  황보상우 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08