Poly Si₁-xGex의 산화 거동 분석

강성관 ,  고대홍 ,  이기철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Si / Si₁-xGex Quantum Well 디바이스에서의 전자이동도 및 저온 자기저항효과

김진영

Applied Science and Convergence Technology

1999 .05

Preparation of Crystalline Si₁-xGex Thin Films at Low Substrate Temperature

Sung-Chae Yang ,  Byung-Yoon Chu ,  Kiyoshi Yatsui

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Poly Si₁-xGex 박막의 산화 거동 연구

강성관 ,  고대홍 ,  오상호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

Epitaxy of Si and Si₁_xGex(001) by ultrahigh vacuum ion - beam sputter deposition

N.-E. Lee ,  J. E. G ,  eene

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

Laser induced crystallization of amorphous Si₁-xGex films

이홍로 ,  박진원 ,  여환국 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

a - Si₁-xGex : H 박막의 고상결정화에 따른 스핀밀도의 변화

노옥환 ,  윤인호 ,  이정근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

후속 열처리에 따른 W / WNx / poly Si₁-xGex의 계면 반응 및 W / WNx / poly Si₁-xGex MOS Capacitor 구조의 전기적 특성 분석

강성관 ,  김재진 ,  고대홍 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Si₁-xGex / Si 이종접합 에피막 구조에서의 misfit threading dislocation 특성

정욱진 ,  안창근 ,  김광일 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Epitaxial Growth of Y₂O₃ films by Ion Beam Assisted Deposition.

C. N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Characteristics of the heteroepitaxial Si₁- xGex films grown by RTCVD method

W.J. Chung ,  Y.K Kwon ,  Y.H. Bae 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

The hydrogen content of amorphous Si1-xGex films grown by ECR - UHVCVD

이홍로 ,  박진원 ,  여환국 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Magnetic and Electrical Properties of (Si₁-xGex)₁-yMny Thin Films grown MBE

Sang Soo Yu ,  Young Mi Cho ,  Young Eon Ihm 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2004 .06

Si₂H6와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향

손용훈 ,  박성계 ,  김상훈 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .04

Ion Beam Assisted Deposition of Optical Coatings

황보창권

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Low - Temperature Si(001) Layer Grown Using Low - Energy Hyperthermal Si Atoms in UHV Ion - Beam Sputter Deposition : Epitaxial Thickness and Hydrogen Concentration

이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

광학 박막의 이온 보조 증착

황보창권

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

Epitaxial growth of Ge on Si(114) - 2×1

강영화 ,  이혜정 ,  김희동 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02