Poly Si₁-xGex 박막의 산화 거동 연구

강성관 ,  고대홍 ,  오상호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

이온선보조증착에의한 Si1-xGex(x=0.2, 0.5)층의 저온정합성장에 관한연구

박상욱 ,  백홍구

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

후속 열처리에 따른 W / WNx / poly Si₁-xGex의 계면 반응 및 W / WNx / poly Si₁-xGex MOS Capacitor 구조의 전기적 특성 분석

강성관 ,  김재진 ,  고대홍 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Preparation of Crystalline Si₁-xGex Thin Films at Low Substrate Temperature

Sung-Chae Yang ,  Byung-Yoon Chu ,  Kiyoshi Yatsui

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Si / Si₁-xGex Quantum Well 디바이스에서의 전자이동도 및 저온 자기저항효과

김진영

Applied Science and Convergence Technology

1999 .05

Laser induced crystallization of amorphous Si₁-xGex films

이홍로 ,  박진원 ,  여환국 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

a - Si₁-xGex : H 박막의 고상결정화에 따른 스핀밀도의 변화

노옥환 ,  윤인호 ,  이정근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Si₁-xGex / Si 이종접합 에피막 구조에서의 misfit threading dislocation 특성

정욱진 ,  안창근 ,  김광일 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Epitaxy of Si and Si₁_xGex(001) by ultrahigh vacuum ion - beam sputter deposition

N.-E. Lee ,  J. E. G ,  eene

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .10

Characteristics of the heteroepitaxial Si₁- xGex films grown by RTCVD method

W.J. Chung ,  Y.K Kwon ,  Y.H. Bae 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

The hydrogen content of amorphous Si1-xGex films grown by ECR - UHVCVD

이홍로 ,  박진원 ,  여환국 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Magnetic and Electrical Properties of (Si₁-xGex)₁-yMny Thin Films grown MBE

Sang Soo Yu ,  Young Mi Cho ,  Young Eon Ihm 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2004 .06

ELA Poly-Si과 SLS Poly-Si에서 Boron Activation에 관한 연구

홍원의 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

MICROSTRUCTURES AND ATOMIC BEHAVIORS OF SEVERAL METAL ELECTRODE SYSTEMS ON SiO₂ / Si ANNEALED IN O₂ AND N₂ AMBIENTS : Pt / (POLY - Si, TiN, AND Ti), Ru / POLY - Si, AND Ir / (POLY - Si AND TiN)

Cha Yeon Kim ,  Hyun Ja Kwon ,  Hyun Ha Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Determination of Optical Bandgap and Germanium Content of Hydrogenated Microcrystalline Si1-xGex Films by Ultraviolet-visible and Auger Electron Spectroscopy Measurements

김정수 ,  장경수 ,  박희준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

The Electrical Characteristics of Low-Temperature Poly-Si Thin-Film Transistors by Different Crystallization Methods

김문수 ,  장경수 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정

임규홍 ,  김도진 ,  김상기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Thermal-Plasma 방식 적용 Al₂O₃ 산화막 증착 특성 연구

이성호 ,  민정환 ,  공성욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

ICP가 sputtered poly - Si thin film에 미치는 영향

주정훈 ,  박원규

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02