DRAM 커패시터용 $Ta_2O_5$ 박막의 전기적 특성에 미치는 전극의존성

김영욱 ,  권기원 ,  하정민 외 3명

한국재료학회지

1991 .01

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

Ta-Al 합금박막의 열적안정성에 미치는 질소첨가 효과

조원기 ,  김태영 ,  강남석 외 2명

한국재료학회지

1997 .01

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

반응성 스퍼터링으로 제조한 ${Ta_2}{O_5}/{Al_2}{O_3}$ 다충박막의 유전특성

최재훈 ,  오태성

한국재료학회지

2001 .01

TaO 고유전박막의 미세조직과 열적안정성

민석홍 ,  정병길 ,  최재호 외 5명

한국재료학회지

2002 .01

B-TA 기술 및 개발현황

전경표 ,  이창범 ,  김상중

한국통신학회지(정보와통신)

1995 .04

NMOS 소자의 Ta-Ti 게이트 전극 특성

강영섭 ,  서현상 ,  노영진 외 2명

한국항행학회논문지

2003 .01

PREFERRED ORIENTATION AND MICROSTRUCTURE OF MOD DERIVED SrBi_2xTa₂O₉ THIN FILMS WITH Bi CONTENT x

Dae Joong Yeon ,  Joo Dong Pa ,  k 외 1명

한국표면공학회지

1996 .12

플라스틱 필름 기판에 적용 가능한 AMLCD 구동 금속-유전체-금속 형태의 박막 다이오드에 관한 연구

김동식

전자공학회논문지-IE

2003 .09

$SnO_2$ 박막을 이용한 ${Ta_2}{O_5}$박막 커패시터의유전특성

김진석 ,  정강민 ,  이문희

한국재료학회지

1994 .01

Ta-Si-N박막의 조성에 따른 결정구조 및 구리 확산 방지 특성 연구

정병효 ,  이원종

한국재료학회지

2011 .01

Nanotube Morphology Changes of Ti-Ta-Ag-Pt Alloys with Ta Content for Biomaterials

Seung-Pyo Kim ,  Han-Cheol Choe

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

하이브리드 자장여과아크 시스템 이용한 Ti-doped ta-C 코팅의 트라이볼로지 특성 연구

강용진 ,  김도현 ,  김종국 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10