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논문 기본 정보

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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제15권 제8호
발행연도
2004.8
수록면
752 - 758 (7page)

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본 논문에서는 MBE로 성장한 AIGaN/lnGaN/GaN 에피층으로 제작된 GaN HEMTs의 특성을 분석하였다. 게이트 전극 길이가 0.5㎛ 로 제작된 소자는 비교적 평탄한 전류 전달 특성을 나타내였으며 최대 전류 880 mA/mm, 최대 전달정수 156mS/mm, 그리고 fr와 fmax 는 각각 17.3GHz와 28.7GHz가 측정되었다. 또한 표면 처리되지 않은 ALGaN/InGaN IIEMT의 경우 기존의 AlGaN/GaN HEMT와는 달리 펄스 전류 동작 상태에서 전류 와해 현상 (current collapse)이 발생하지 않음이 확인되었다. 이 연구 결과는 InGaN 를 채널층으로 사용할 경우 표면에 존재하는 트랩에 의한 전류 와해 현상이 발생하지 않는 고성능, 고출력의 GaN HEMT를 제작할 수 있음을 보여준다.

목차

요약

Abstract

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 소자 제작과 DC 및 펄스 전류 특성

Ⅲ. 결론

참고문헌

저자소개

참고문헌 (23)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-427-014265158