지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.4
- 수록면
- 1,078 - 1,082 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
A feasibility study for the fabrication of master replication with nanostructures by Nanoimprint
Lithography (NIL) was investigated for application of polymer Photonic Bandgap (PBG) devices used in
photonic IC. Large area gratings of 9 15 () with p = 400 was successfully embossed on PMMA on
silicon wafer and the embossing parameters (temperature, pressure, time) were established. A precise control
of Oplasma Reactive Ion Etching (RIE) process time allowed window opening over the whole area despite
the presence of wafer bending. Master replication with aspect ratio 1 was successfully fabricated, but master
replication with aspect ratio 3 needs to optimize parameters. All replications were done in a NIL process.
Lithography (NIL) was investigated for application of polymer Photonic Bandgap (PBG) devices used in
photonic IC. Large area gratings of 9 15 () with p = 400 was successfully embossed on PMMA on
silicon wafer and the embossing parameters (temperature, pressure, time) were established. A precise control
of Oplasma Reactive Ion Etching (RIE) process time allowed window opening over the whole area despite
the presence of wafer bending. Master replication with aspect ratio 1 was successfully fabricated, but master
replication with aspect ratio 3 needs to optimize parameters. All replications were done in a NIL process.
목차
Abstract
1. 서론
2. 나노 임프린트 리소그라피 공정
3. 마스터 복제 공정 실험
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Spin-On-Glass resist 를 이용한 NIL 용 Master Replication
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
-
고온 나노임프린팅 장비응용 나노스템프 복제공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
-
나노 임프린트 장비응용 기능성 나노구조물 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
-
나노 임프린트 리소그래피기술
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .05
-
Fabrication of functional nano-structures using nanoimprint lithography and its application to photonic devices
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
-
나노 임프린트 리소그라피와 식각 공정을 통한 알루미늄 나노 패턴 제조 방법
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
-
Polymer Photonic Crystal Nano-Systems Fabricated by Nanoimprint Lithography
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
-
온도 제어 비평형 분자동역학 방법을 이용한 나노임프린트 리소그라피 공정의 전산모사
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .05
-
나노 임프린트 리소그라피를 이용한 template 제작 방법에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
-
Numerical Analysis of Pressure and Temperature Effects on Residual Layer Formation in Thermal Nanoimprint Lithography
반도체디스플레이기술학회지
2013 .01
-
Reduction of Image Shortening in Two-Dimensional Pattern Replication Using X-Ray Lithography
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
-
나노임프린트를 이용한 인조 나방눈 모사 반사방지막 제작 기술
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
-
나노임프린트 공정에서의 냉각성능 개선에 대한 수치해석
반도체디스플레이기술학회지
2011 .01
-
A Numerical Analysis of Polymer Flow in Thermal Nanoimprint Lithography
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
-
열 나노임프린트 리소그래피를 위한 패턴의 결함 향상에 관한 실험적 연구
전기학회논문지 C
2006 .05
-
LIGA 공정을 이용한 평면형 광소자용 Ni 마스터 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
-
교환 시스템 내부 셀 복제 제어 알고리즘 ( Cell Replication Algorithm in System )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
-
Flow Behavior at the Embossing Stage of Nanoimprint Lithography
Fibers and Polymers
2002 .01
-
광자결정 도파로 성형용 PDMS 스탬프 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .04
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
롤투롤 임프린트 공정을 이용한 광학소자의 수동 광정렬 구조 제작
조상욱
,
이태호
,
장성환
외 2명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013
.05
광소자의 광 정렬 및 연결 구조 구현용 임프린트 공정 연구
김영섭
,
조상욱
,
강호주
외 1명
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2012
.12
LED 방열 효율 향상용 사파이어 기판 나노 패터닝 연구
강호주
,
정명영
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012
.10
나노임프린트와 수열성장법을 이용한 인공 초소수성 표면 제조
최학종
,
조한별
,
신주현
외 1명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012
.04
롤 임프린트 리소그래피 공정을 이용한 유연 기판 상의 마이크로 패턴 제작에 관한 연구
심종명
,
제순규
,
한정진
외 1명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011
.04
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-014203949