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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
3,206 - 3,208 (3page)

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The contact-based nanoimprinting lithography (NIL), such as thermal and/or UV nano-imprint, has been well known as one of the next generation lithography alternatives. Especially, the UV nano-imprinting lithography technology has the advantages in terms of process simplicity, low cost, high replication fidelity, and relatively high throughput. The UV nanoimprinting lithography tool is built with the characteristic functions li ... 전체 초록 보기
#Functional Nanostructure-pattern(기능성 나노그조물) #Nanoimprinting Lithography(나노 임프린팅리소그래피 장비) #Overlay and Alignment(오버레이 및 정렬시스템) #Selfalignment System(자가정렬시스템)

목차

Abstract
1. 서론
2. 나노 임프린팅 리소그래피
3. 실험결과 및 분석
4. 결론
후기
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