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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김영섭 (부산대학교) 조상욱 (부산대학교) 강호주 (부산대학교) 정명영 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.29 No.12
발행연도
2012.12
수록면
1,376 - 1,381 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2013

임프린트에 의한 평면 광소자 공정 최적화 연구
김영섭 인지메카트로닉스공학과 2013.01 학위논문

2012

광소자의 광 정렬 및 연결 구조 구현용 임프린트 공정 연구
김영섭 ,  조상욱 ,  강호주 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2012.12 학술저널

초록· 키워드

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Optical devices are used extensively in the field of information network. Increasing demand for optical device, optical interconnection has been a important issue for commercialization. However many problems exist in the interconnection between optical device and optical fiber, and in the case of the multi-channel, problems of the optical alignment and optical array arise. For solving the alignment and array problem of optical device and the optical fiber, we fabricated fiber alignment and array by using imprint technology. Achieved higher precision of optical fiber alignment and array due to fabricating using imprint technology. The silicon stamp with different depth was fabricated using the conventional photolithography. Using the silicon stamp, a nickel stamp was fabricated by electroforming process. We conducted imprint process using the nickel stamp with different depth. The optical alignment and array by fabricating the patterns of optical device and fiber alignment and array using imprint process, and achieved higher precision of decreasing the dimensional error of the patterns by optimization of process. The fabricated optical interconnection of PLC device was measured 3.9 dB and 4.2 dB, lower than criteria specified by international standard.
#Planar Lightwave Circuit(평면광소자) #Imprint Lithography(임프린트 리소그래피) #Optical Interconnection(광연결)Optical Alignment(광 정렬)

목차

1. 서론
2. 광 정렬 및 연결 구조 설계
3. 광 정렬 및 연결 구조 제조 공정 연구
4. 광소자 성능 평가
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (3)

참고문헌 신청
류진화, 김창석, 정명영. 임프린트 기반 마이크로 광도파로의 변형 특성 연구. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2008 dbpia 백규하, 김동표, 박건식, 강진영, 이기준, 도이미. TSV 형성을 위한 DRIE 기술. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2009 dbpia 조상욱, 정명영, 김창석, 안승호. 정밀 고분자 광섬유 어레이 제작 연구. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2007 dbpia

이 논문의 저자 정보

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