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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제14권 제4호
발행연도
2003.4
수록면
323 - 329 (7page)

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본 논문에서는 유전자 알고리즘을 이용한 FBAR(Thin-Film Bulk Acoustic Resonator)에서의 물질 상수 추출 기법을 제안하였다. 제안된 기법은 유전자 알고리즘을 적용하여 FBAR의 입력 임피던스로부터 물질 상수를 추출하는 방법이다. 유전자 알고리즘의 적합도 함수를 결정하기 위해 물질 상수 변화가 FBAR의 임피던스 특성에 미치는 영향을 알아본 후, FBAR의 입력 임피던스로부터 구해지는 직렬/병렬 공진 주파수와 FBAR 대역폭으로 적합도를 평가하였다. 유전자 알고리즘의 흐름도와 제안된 물질 상수 추출 과정에 대해 설명하였고, 본 기법의 타당성을 검증하기 위해 물질 상수 추출 결과를 제시하였다.

목차

Ⅰ. 서 론

Ⅱ. FBAR의 임피던스 특성과 물질 상수

Ⅲ. 유전자 알고리즘의 적용

Ⅳ. 물질 상수 추출 과정

Ⅴ. 물질 상수 추출 결과

Ⅵ. 결 론

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