메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제20권 제4호
발행연도
2006.5
수록면
7 - 11 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
본 논문에서는 Mo/SiO₂/Si(100) 기판 위에 MOCVD(Metal-Organic-Chemical-Vapor Deposition)법을 이용하여 C축 방향으로 성장시킨 AIN(Aluminum Nitride) 박막을 이용하여 ㎓대역 무선 통신에서 사용할 수 있는 FBAR(Film-Bulk-Acoustic Resonator)을 제작하였다. 제작된 공진부의 공진주파수와 반공진주파수는 각각 3.189[㎓]와 3.224[㎓]으로 측정되었으며, Q값(Quality Factor)과 유효한 전기기계 결합계수(k<SUB>eff</SUB>²)는 각각 24.7과 2.65[%] 로 평가되었다. AIN의 증착(Deposition) 조건은 950[℃]의 기판표면(Substrate) 온도, 20Torr의 압력, 25000의 N/Al의 Ⅴ/Ⅲ비로 증착하였다. 4×10??[Ω㎝]의 Mo 하부전극 고유저항과 Mo/SiO₂/Si(100) 기판 위에 AIN(0002) FWHM(Full-Width at Half-Maximum) 4를 갖는 C축 방향성의 AIN 박막을 성공적으로 성장시켰다. 따라서 증착된 AIN 박막의 FWHM 값은 ㎓대역 무선 통신용 RF(Radio Frequency) 밴드 패스 필터 설계에 유용하게 사용될 것이다.
#AlN(Aluminim Nirtide) #MOCVD(Metal-Organic-Chemical-Vapor Deposition) #Q(Quality Factor) #k< #SUB> #eff< #/SUB> #²(Electromechanical Coupling Coefficient) #FWHM(Full-Width at Half-Maximum)

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. AlN 박막의 최적화
3. FBAR 제조
4. 결론
References
저자소개

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
K. M. Lakin and J. S. Wang: Appl. Phys. Lett. 38 (1981) 125. google schola K. Nakamura, H. Sasaki and H. Shimizu: Electron. Lett. 17 (1981) 507. google schola T. W. Grudkowski, J. F. Black, T. M. Reeder, D. E. Cullen and R. A. Wager: Appl. Phys. Lett. 37 (1980) 993. google schola T. Nishihara, T. Yokoyama, T. Miyashita and Y. Satoh: IEEE Ultrason. Symp. Proc., Munich, (2002) p.944. google schola L. M. Lakin, G. R. Kline and K. T. McCarron: IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 41 No. 12, (1993) 2139. google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

유전체 공진기 결합 구조 개선을 통한 저위상 잡음 전압 제어 유전체 공진기 발진기 설계
손범익 ,  정해창 ,  이석정 외 1명 한국전자파학회논문지 2012 .06
무선 전력 전송용 고효율 공진기 설계
장요한 ,  권재순 ,  박재수 외 1명 한국전자파학회논문지 2011 .09
유전자 알고리즘을 이용한 압전 박막 음향 공진기에서의 물질 상수 추출 기법
이정흠 ,  정재용 ,  김형동 한국전자파학회논문지 2003 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-565-017450454