실리사이드 공정에 의해 제조된 아날로그용 다결정 실리콘 커패시터의 전기적 특성 변화 ( The Effects of Silicide Process on Electrical Properties in an Analog Polysilicon Capacitor )

이재성; 이재곤

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이재성 이재곤

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제38권 제1호

발행연도: 2001.1

수록면: 23 - 29 (7page)

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