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이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
1986
인 도핑 다결정 실리콘 산화막의 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on the Electrical Characteristics of Oxide Grown from Phosphorous-Doped Polysilicon )
윤형섭
,
강상원
,
박신종
전자공학회논문지
1986.11
학술저널
E2PROM 을 위한 인도핑 폴리실리콘 산화막의 전기적 특성에 관한연구
윤형섭
,
남기수
,
박신종
대한전자공학회 학술대회
1986.06
학술대회자료
E2PROM을 위한 인도핑 폴리실리콘 산화막의 전기적 특성에 관한 연구 ( Electrical Characteristics of Oxides Grown on P-doped Polysilicon for E2PROM )
윤형섭
,
남기수
,
박신종
대한전자공학회 학술대회
1986.01
학술대회자료
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E2PROM을 위한 인도핑 폴리실리콘 산화막의 전기적 특성에 관한 연구 ( Electrical Characteristics of Oxides Grown on P-doped Polysilicon for E2PROM )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
-
Ion Mass Doping 에 의한 인의 전기적 활성화에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
-
P형 in-situ 도핑 폴리실리콘 막질에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
-
건식 산화법에 의한 인 도핑 다결정 산화막의 전기적 특성 분석 ( Analysis of Electrical Properties of Polyoxide Grown on Prosphorous-doped Polysilicon )
전자공학회논문지
1990 .04
-
실리콘 박막에서 이온 질량 도핑에 의해 주입된 인의 전기적 활성화에 관한 연구 ( A Study on the Electrical Activation of Ion Mass Doped Phosphorous on Silicon Films )
전자공학회논문지-A
1995 .01
-
폴리실리콘-산화막 구조의 표면요철에 의한 절연파괴전계 저하에 관한 고찰
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
-
폴리실리콘-산화막 구조의 표면요철에 의한 절연파괴전계 저하에 관한 고찰 ( Lowering of the Breakdown Field by Asperities on the Polysilicon Surface in Polysilicon-Oxide Structure )
대한전자공학회 학술대회
1992 .07
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Boron과 Phosphorous 이온주입에 의한 다결정 실리콘 저항의 제조 ( Fabrication of Polysilicon Resistors Compensated with Boron and Phosphorous Ion-Implantation )
전자공학회논문지
1987 .09
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다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
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급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )
전자공학회논문지
1988 .09
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급속열처리 방식을 이용한 다결정 실리콘 소자의 향상된 전기적 특성 ( Improved Electrical Properties of Polysilicon TFT Using Rapid Thermal Processing )
전자공학회논문지
1990 .12
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도핑한 산화막의 확산 특성 ( Diffusion Characteristics of Doped Oxides )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
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도핑한 산화막의 확산 특성
대한전자공학회 학술대회
1984 .11
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급속열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성연구 ( Effects of the Rapid Thermal Anneal on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
New Method for Estimation of the Grain Boundaries Contribution to the Resistance of Highly Doped Polysilicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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고온 확산공정에 따른 산화막의 전기적 특성
전기학회논문지 C
2003 .10
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실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
-
실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
-
실리콘 산화막의 전압 전류 특성
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
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