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Characterization of TiN/TiSi2 System by Two Step Rapid Thermal Anneal
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1992 .01
RAPID THERMAL ANNEAL에 의한 TiN / TiSi₂구조 형성에 관한 연구(Ⅰ)
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Rapid Thermal Anneal 에 의한 TiN / TiSi2 구조 형성에 관한 연구 ( Ⅰ ) ( Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal ( Ⅰ ) )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
Characteristics of TiN/TiSi₂ Contact Barrier Layer by Rapid Thermal Anneal in N₂ Ambient
전기학회논문지
1992 .06
The Properties of TiN/TiSi₂ Bilayer Formed by a Two-Step Rapid Thermal Annealing for ULSI Contact
JOURNAL OF KIEE
1994 .03
TiN / TiSi2 이중구조막의 submicron contact에서의 전기적 특성 ( The electrical properties of TiN / TiSi2 bilayer formed by rapid thermal anneal at Submicron contact )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
2단계 급속열처리에 의한 TiN/TiSi₂ 이중구조막의 특성
전기학회논문지
1992 .12
급속열처리에 의한 TiN / TiSi2 이중구조막을 이용한 submicron contact 에서의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of TiN / TiSi2 Bilayer Formed by Rapid Thermal Anneal at Submicron Contact )
전자공학회논문지-A
1994 .09
Thermal Stability of TiN / TiSi2 Bilayers Formed by two-step Rapid Thermal Conversion Process for Cu Diffusion Barrier
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
A Study on the Properties of TiN/TiSi₂ Bilayer by a Rapid Thermal Anneal in NH₃ Ambient
전기학회논문지
1992 .08
TiN capping layer을 이용한 Titanium silicide 형성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2012 .06
PVD 방법에 의한 $TiN/TiSi_2$-bilayer 형성
한국재료학회지
1998 .01
이단계 순간열처리에 위한 TiN / TiSiz 이중막의 특성 ( Properties of TiN / TiSi2 By layer by Two Step Rapid Thermel Anneal )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
RTA 방법에 의하여 제작한 TiN / TiSi 2 의 특성 분석 ( The Characteristics of TiN / TiSi2 Bilayer on Si by RTA in N2 Ambient )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
TiSi2의 열적 불안전성에 대한 이론적 고찰 및 개선 방안 ( The theoretical study and improvement on agglomeration of TiSi2 )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
Feasibilities of TiNx in ULSI fabrication process (Formation of the large grain sized TiN layer on SiO$_2$substrate and teh epitaxial C49-TiSi$_2$formation on (100) Si substrate)
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Denudation 열처리가 ULSI device의 전기적 특성에 미치는 영향의 평가
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
Denudation 열처리가 ULSI device의 전기적 특성에 미치는 영향의 평가 ( Effects of denudation anneals on the electrical properties of ULSI devices )
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
ULSI Cell Technology
전자공학회지
1992 .05
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