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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 종합 학술 대회 논문집 (추계) 1998 Vol.21 No.2
발행연도
1998.11
수록면
565 - 568 (4page)

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1998

Denudation 열처리가 ULSI device의 전기적 특성에 미치는 영향의 평가
조원주 ,  이교성 ,  송영민 대한전자공학회 학술대회 1998.11 학술대회자료
Denudation 열처리가 ULSI device의 전기적 특성에 미치는 영향의 평가 ( Effects of denudation anneals on the electrical properties of ULSI devices )
조원주 ,  이교성 ,  송영민 대한전자공학회 학술대회 1998.11 학술대회자료

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