초고집적 회로용 PZT박막의 형성조건 - 스퍼터링법으로 Si , TiN/Ti/Si 기판위에 증착된 PZT 박막의 급속 열처리에 의한 결정화 및 특성 - ( Formation Conditions of PZT Thin Films for ULSI - A Study on the formation and characteristics of PZT thin films by rapid thermal annealing - )

마재평 ,  박치선 ,  백수현 외 4명

전자공학회논문지-A

1993 .10

Pt / Ti / SiO2 / Si기관 위에 in-situ로 형성된 PZT박막의 특성과 상형성에 미치는 산소의 영향

김윤희 ,  백수현 ,  황유상 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Pt/Ti/Si 기판에서의 후속열처리에 따른 PZT 박막의 형성 및 특성

백상훈 ,  백수현 ,  황유상 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

유리기판 위에 증착한 PZT 박막의 전기적 특성에 관한 연구

鄭圭元 ,  朱弼淵 ,  朴暎 외 2명

전기학회논문지 C

2001 .01

Pt 박막히터에 의해 결정화시킨 PZT 박막의 전기적 특성

송남규 ,  김병동 ,  박정호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Pt 상부 전극 증착 조건이 Pt/PZT/Pt Capacitor의 전기적 특성에 미치는 영향

이강운 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구

김종렬 ,  조윤성 ,  배규식

한국재료학회지

1995 .01

MOCVD법에 의한 PZT 박막의 증착 및 전기적 특성에 관한 연구

신주철 ,  이종명 ,  홍석경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

Pt / Ti / Si 기판위에 증착한 PLZT박막의 형성 및 그 특성 ( Formation and Characteristics of PLZT thin film deposited on Pt / Ti / Si substrate )

이주현 ,  백수현 ,  황유상 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

Pt 상부 전극 증착온도가 PZR 박막의 전지적 특성에 미치는 영향

이강운 ,  이원종

한국재료학회지

1998 .01

Ti-Si-N코팅의 기계적 성질에 관한 온도와 기판 바이어스의 영향

이정두 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

Sol-Gel법으로 Pt/Ti/SiO₂/Si 기판위에 제작한 PLZT 박막의 구조 및 유전특성

李成甲 ,  朴仁吉 ,  李永熙

전기학회논문지

1997 .03

저온동시소성세라믹 기판 위에 제작된 PZT 박막의 증착조건이 박막의 구조적 특성에 미치는 영향

이경천 ,  송준태 ,  황현석 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Pt/Ti/Si 기판위에 증착한 PLZT박막의 형성 및 그 특성

이주현 ,  백수현 ,  황유상 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

열처리 조건이 실리콘 기판위의 Ta2O5 박막에 미치는 영향

박성욱 ,  백용구

전자공학회지

1992 .05

EFFECT OF ANNEALING ATMOSPHERE ON THE DELAMINATION OF Pt LAYER IN SiO$_2$/Pt/PZT/Pt STRUCTURE

Pa ,  k ,  Young-Soo 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교

고종수 ,  곽병만

대한기계학회 논문집 A권

2002 .06

ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm $\textrm{SiO}_2$ 환산두계를 갖는 Pb(Zr, Ti)$\textrm{O}_3$유전박막의제조

김재환 ,  김용일 ,  위당문 외 1명

한국재료학회지

1997 .01