Cl₂/Ar gas mixture 중성빔을 이용한 블록공중합체 식각 연구

윤덕현 ,  김경남 ,  성다인 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

$BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 유도결합 플라즈마에 따른 GaAs 건식식각 비교

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각

양설 ,  엄두승 ,  송상헌 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

고밀도 플라즈마 식각에 의한 CoTb과 CoZrNb 박막의 식각 특성

신별 ,  박익현 ,  정지원

화학공학

2005 .01

N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성

허경무 ,  박정수 ,  주영희 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성

김용근 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각

박진수 ,  한윤봉 ,  이규철

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )

김창일 ,  권광호

전자공학회논문지-D

1999 .05

기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교

김재권 ,  노호섭 ,  주영우 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Ar/Cl2 혼합가스를 이용한 Ba_2Ti_9O_20(BTO) 박막의 유도결합 플라즈마 식각

김용근 ,  이현우 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성

엄두승 ,  우종창 ,  박정수 외 1명

한국표면공학회지

2009 .08

Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Cl/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 NiFe, NiFeCo, Ta의 건식식각

라현욱 ,  박형조 ,  김기주 외 2명

화학공학

2005 .01

Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구

우종창 ,  하태경 ,  위재형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

GaAs / A 1 GaAs양자우물을 이용한 이온건식식각의 Damage 평가 ( Evaluation of Damage Introduced by Reactive Ion Etch Using GaAs/AlGaAs Quantum Well )

김현태 ,  마동성 ,  J. Motohisa 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

2단계 건식식각에 의한 GaAs Via-Hole 형성 공정 ( A Via-Hole Process for GaAs MMIC`s using Two-Step Dry Etching )

정문식 ,  김흥락 ,  이지은 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .01

CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구

강명구 ,  김경태 ,  김태형 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07