C54구조의 TiSi2와 As 이온 주입된 다결정 Si계에서 고온 열처리에 의한 표면상태 거칠어짐과 TiAs 침전물 형성에 관한 연구 ( Investigation of TiAs Precipitate Formation and Morphology Degradation between TiSi2 with C54 Structure and Poly Silicon Doped with Arsenic )

박형호 ,  조경익 ,  이희태 외 4명

전자공학회논문지

1990 .11

TiSi2의 열적 불안전성에 대한 이론적 고찰 및 개선 방안 ( The theoretical study and improvement on agglomeration of TiSi2 )

권성수 ,  김상영 ,  유상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

초청정 Si기판에 동시 증착된 $TiSi_2$ 의 상전이 및 형성

강응열 ,  조윤성 ,  박종완 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

C49 $TiSi_2$상의 에피구조 및 상안정성

전형탁

한국재료학회지

1994 .01

Si (001) 기판에서 $N_2$처리에 의해 형성된 에피택셜 C49-$TiSi_2$상의 열적 거동과 결정학적 특성에 관한 연구

양준모 ,  이완규 ,  박태수 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

무인차량용 단거리 라이다 시스템을 위한 멀티채널 트랜스임피던스 증폭기 어레이

장영민 ,  김성훈 ,  조상복 외 1명

전자공학회논문지

2013 .12

PVD 방법에 의한 $TiN/TiSi_2$-bilayer 형성

최치규 ,  강민성 ,  김덕수 외 5명

한국재료학회지

1998 .01

Rapid Thermal Anneal 에 의한 TiN / TiSi2 구조 형성에 관한 연구 ( Ⅰ ) ( Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal ( Ⅰ ) )

이철진 ,  천영일 ,  박종호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

RAPID THERMAL ANNEAL에 의한 TiN / TiSi₂구조 형성에 관한 연구(Ⅰ)

이철진 ,  천영일 ,  박종호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

불순물이 주입된 Poly-Si / Single-Si 기판에서 TiSi2 형성시 Dopants의 거동 ( The Behavior of Dopants During the Formation of TiSi2 in the Poly-Si/Single-Si Substrate with Implanted Impurities )

황유상 ,  김동원 ,  문환구 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

불순물이 주입된 Poly-Si/Single-Si 기판에서 TiSi2 형성시 Dopants의 거동 ( The Behavior off Dopants During the Formation of TiSi2 in the Poly-Si/Single-Si Substrate with Implanted Impurities )

최진석 ,  황유상 ,  강성건 외 5명

전자공학회논문지-A

1991 .12

0.18μm로 설계된 저전력 완전차동구조 CMOS TIA

하기혁 ,  강진구

대한전자공학회 학술대회

2007 .05

TiN capping layer을 이용한 Titanium silicide 형성에 관한 연구

박종문 ,  나경일 ,  유성욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Zr 원소 첨가에 따른 $TiSi_2$ 응집화 현상의 억제

윤상현 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TiSi2 박막의 Agglomration 거동에 미치는 Si기판 의존성

김일권 ,  고종우 ,  이내인 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

실리콘 산호막 위에 적층된 다결정실리콘층의 미시구조에 대한 TEM 분석

백문철 ,  남산 ,  권오준 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)

최진석 ,  강성건 ,  황유상 외 6명

한국재료학회지

1991 .01

Heavily doped Si에서 Ti 증착 온도가 $TiSi_2$ orientation 및 thermal instability 에 미치는 영향

박보현 ,  유상호 ,  조병진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal

Cheol Jin Lee ,  성영권

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01