소프트 리소그래피 기술 동향

신영재 ,  조정대 ,  이응숙

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .04

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

고효율 광학 소자를 위한 전자빔 및 나노임프린트 기술

조상욱 ,  오승훈 ,  김창석 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .06

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

소프트리소그래피(Soft Lithography)를 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술

박경선 ,  이기석 ,  성명모

고분자 과학과 기술

2012 .12

Manufacturing of Twisting Smart Soft Composite Actuator by 3D Soft Lithography

Hugo Rod ,  igue ,  Wei Wang 외 2명

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2015 .02

Soft lithography using Block Copolymer Self-Assembly

김상욱

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Synthesis and application of the hybrid mask for soft - lithography

천재은 ,  이현정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

나노/마이크로 복합 금형 제작을 위한 소프트 마스크 위상 이동 리소그래피 공정 기술 연구

김지원 ,  조상욱 ,  이태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

SPL과 소프트 리소그래피를 이용한 나노 구조물 형성 연구

류진화 ,  정명영 ,  김창석

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .07

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

레이저 홀로그래피법을 이용한 폴리머 광결정의 패턴형성 기술

장원석 ,  문준혁 ,  양승만

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

소프트리소그래피를 이용한 유기태양전지용 전자주개물질의 나노패턴 제작

홍석관 ,  김영훈 ,  정학균 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구

김상민 ,  박창수 ,  이준상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

Functional soft-lithography for bottom-up patterned ordering of liquid crystalline polymer films

박경우 ,  김학린 ,  곽기섭

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04