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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 가공방법 및 장치
3. 실험결과 및 토의
4. 결론
후기
참고문헌
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마이크로 펌프의 제작 및 응용에 관한 연구 동향 ( Research Trends in the Fabrication and Applications of Micro-Pumps )
대한기계학회지
1993 .06
소프트리소그래피(Soft Lithography)를 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술
고분자 과학과 기술
2012 .12
레이저 직접 노광시스템의 3D lithography를 위한 자동초점시스템 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
Fabrication of a Hydrophilic Composite Mold and its Application for Various Soft Lithographic Techniques
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .10
마이크로 구조물 제작을 위한 금 전해 도금의 특성에 관한 연구 ( A Study on the Characteristics of Gold Electroplating for Micro Structure Fabrication )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Parametric Study for a Diffraction Optics Fabrication by Using a Direct Laser Lithographic System
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .10
LITHOGRAPHIC MATERIALS AND PROCESSES FOR VLSI
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
Hybrid Imprint Lithography 공정을 이용한 3D 구조물 제작
대한전자공학회 학술대회
2008 .06
경 X-선을 이용한 마이크로 구조물 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
전해 연속 드레싱을 이용한 마이크로 구조물 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
Azo 폴리머 필름에 마이크로 원형 간섭 무늬를 새기는 lithography 기술
한국통신학회 기타 간행물
2004 .11
X-ray Lithography Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
3차원 마이크로 인덕터의 제작기술에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
Fabrication of bio-applicable structures using 3D printing technologies
미세가공 심포지엄
2013 .11
레이저 마이크로 소결 공정을 이용한 다공성 마이크로 구조물의 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
레이저 마이크로 소결 공정을 이용한 다공성 마이크로 구조물의 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
Fabrication of micro/nano complex grating by light interference lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
마이크로/나노센서 제작을 위한 전기도금 기술 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
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