Optimum placement of the stepper motor on the lift pin up/down drive unit considering the operating temperature limit

Nico S. Effendi; Byoung Guk Kim; Jeong Sik Park; Kyoung Joon Kim

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저자정보: Nico S. Effendi (Pukyong National University) Byoung Guk Kim (Pukyong National University) Jeong Sik Park (Pukyong National University) Kyoung Joon Kim (Pukyong National University)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2019년 학술대회

발행연도: 2019.11

수록면: 2,308 - 2,310 (3page)

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#Stepper motor #temperature #semiconductor manufacturing #lift pin up/down

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