Radical Interactions with Electrode Surfaces in Parallel-Plate-Type RIE

S. Mo ,  ishita ,  H. Hayashi 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

표면자장이 RIE에 미치는 영향 ( The Effects of a Surface Magnetic Field on RIE )

한해욱 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

RIE Damage에 의한 산화지연효과 및 후처리 기술 ( Oxidation Retardation Phenomenon Due to RIE Damage and It`s Post-RIE Treatment )

이원규 ,  구경완 ,  홍봉식

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Fabrication of micro gas sensor using Si deep RIE process

Joon-Shik Pa ,  k ,  Kwang-Bum Pa 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

알루미늄 식각을 위한 RIE 장치의 제작 및 성능의 연구 ( A study on the fabrication and performance of RIE mode Aluminium Etching System )

황기웅 ,  김윤택

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

RIE로 처리된 GaAs 표면의 전기적 특성연구

조준환 ,  임한조 ,  이유종 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

RIE로 처리된 GaAs 표면의 전기적 특성연구 ( A Study on the Electrical Properties of GaAs Surface After RIE Process )

조준환 ,  임한조 ,  이유종 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

O₂ RIE 공정을 이용한 20㎛ 두께의 폴리이미드 마이크로 구조물의 제작

백창욱 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

RIE를 이용한 SiC 박막의 건식 식각공정 연구

강수창 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

실리콘 기판상에 RIE와 산화과정을 적용한 채널 도파로 제작 ( Fabrication of the Channel Waveguide by RIE Technique and Thermal Oxidation on Si Wafer )

홍순광 ,  이소영 ,  김광택 외 2명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

실리콘 기판상에 RIE와 산화과정을 적용한 채널 도파로 제작 ( Fabrication of the Channel Waveguide by RIE Technique and Thermal Oxidation on Si Wafer )

홍순광 ,  이소영 ,  김광택 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Mechanisms of Cl₂ Molecules Dissociation in a Gas Discharge Plasma in Mixtures with Ar, O₂. N₂

A. M. Ef ,  emov ,  Kwang-Ho Kwon

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2001 .12

Deep RIE 공정에 따른 MEMS 구조물의 기계적 특성 연구

연순창 ,  김용협

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2002 .11

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

다결정 3C-SiC 박막의 마그네트론 RIE 식각 특성

온창민 ,  정귀상

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

RIE 공정으로 제조된 블랙 실리콘층을 이용한 SERS 기판용 3차원 금속 나노구조의 제조

김형주 ,  이동인 ,  김봉환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

Parallel-Plate Capacitor Structures with Enhanced Linearity

Ching-Lieh Li ,  Chih-Wei Hsueh ,  Ding-Kai Lin

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2007 .07

ICP-RIE 기술을 이용한 차압형 가스유량센서 제작

이영태 ,  안강호 ,  권용택

반도체및디스플레이장비학회지

2008 .01