Analysis of Insulating Characteristics of Cl₂-He Mixture Gases in Gas Discharges

Do Anh Tuan

Journal of Electrical Engineering & Technology

2015 .07

Cl₂/Ar gas mixture 중성빔을 이용한 블록공중합체 식각 연구

윤덕현 ,  김경남 ,  성다인 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH₂F₂/O₂/Ar Plasma

Jinyoung Son ,  Junmyung Lee ,  Inwoo Chun 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

방전 플라스마에 의한 CFC-12($CCl_2F_2$)의 분해

강현춘 ,  우인성 ,  황명환 외 4명

한국안전학회지

1999 .01

Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )

김창일 ,  권광호

전자공학회논문지-D

1999 .05

평등 및 불평등 전계하에서 순수 Ar, N₂ 가스와 Ar/N₂ 혼합 가스의 교류절연파괴 특성

이상우 ,  김인식 ,  이동인 외 2명

조명·전기설비학회논문지

2001 .09

Study of silicon nitride etching with global warming effects for C₃F₆O/O₂ and C₃F₆/O gas mixtures

Ka Youn Kim ,  Hea Lim Lee ,  Nae-Eung Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

DEGREE OF DISSOCIATION OF A NITROGEN FLOW IN A PLASMA GENERATOR

O. H. Chang ,  M. Dudeck

International Conference on Fluid Machinery

1992 .10

Effect of Process Parameters on Plasma Equipment in a Cl₂ Inductively Coupled Plasma

Sang Hee Kwon ,  Byung Whan Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각

정희성 ,  김성일 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Dry Etching Characteristics of Zinc Oxide Thin Films in Cl_2-Based Plasma

Jong-Chang Woo ,  Tae-Kyung Ha ,  Chen Li 외 5명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2011 .01

Measurement of Ar Temperature of Hollow Cathode Discharge Plasma

Jun-Hoi Lee ,  신재수 ,  Min Soo Lee 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

Dissociation Mechanism of C4F8 Gas in Parallel-Plate-Type RIE

H. Hayashi ,  S. Mo ,  ishita 외 7명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석

조주웅 ,  이영환 ,  허인성 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

SiC/ $Si_{3}N_{4}$ 복합재료의 $O_{2}/Cl_{2}$분위기에서의 고온 부식거동

박찬 ,  안용식 ,  정해용 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01