The Development of Cl-Plasma Etching Procedure for Si and SiO₂

Jong Woo Kim ,  Mi Young Jung ,  Sung Soo Choi 외 1명

한국표면공학회지

2001 .10

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

A High Selectivity SiO2 / Si3N4 Etching and its Applications to Self-Aligned Contact

이호준 ,  김정호 ,  김정훈 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

AL / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si 구조의 전기적 특성 및 가스 감지 효과 ( Electrical Property and Gas Sensing Effect of Al / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si Structure )

최시돈 ,  이종현 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04

REDUCTION OF SIO₂ BY SOLID CARBON AND GAS SPECIES FOR MG-SI

Eun Jin JUNG ,  Byung Moon MOON ,  Dong Joon MIN

AFORE

2011 .11

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Selective Chemical Wet Etching of Si_0.8Ge_0.2/Si Multilayer

Yeon-Ho Kil ,  Jong-Han Yang ,  Sukil Kang 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2013 .12

D. C. 전압 인가에 의한 Pd-SnO_x-Si₃N₄-SiO₂-Si-Al 캐패시터의 산소흡착/탈착 반응

이재홍 ,  이주헌 ,  김창교

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

SiO2-Si 구조의 계면준위 측정에 미치는 빛의 영향 ( The Effect of Illumination on Surface State Density measurement of SiO2-Si Structure )

민병훈 ,  이정한

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Si-SiO2 계의 N2 Plasma 처리효과에 관한 연구 ( A Study on the Effect of N2 Plasma Treatment on the Si-SiO2 System )

성영권 ,  오재하 ,  이내인 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

The Fabrication of an Applicative Device for Trench Width and Depth Using Inductively Coupled Plasma and the Bulk Silicon Etching Process

우종창 ,  최창억 ,  김창일

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2014 .01

ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si 건식 식각 시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구

김동일 ,  노호택 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2014 .06