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TiSi2의 열적 불안전성에 대한 이론적 고찰 및 개선 방안 ( The theoretical study and improvement on agglomeration of TiSi2 )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
C49 $TiSi_2$상의 에피구조 및 상안정성
한국재료학회지
1994 .01
초청정 Si기판에 동시 증착된 $TiSi_2$ 의 상전이 및 형성
한국재료학회지
1994 .01
TiSi2 박막의 Agglomration 거동에 미치는 Si기판 의존성
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Si (001) 기판에서 $N_2$처리에 의해 형성된 에피택셜 C49-$TiSi_2$상의 열적 거동과 결정학적 특성에 관한 연구
한국재료학회지
2001 .01
Zr 원소 첨가에 따른 $TiSi_2$ 응집화 현상의 억제
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
PVD 방법에 의한 $TiN/TiSi_2$-bilayer 형성
한국재료학회지
1998 .01
TiN capping layer을 이용한 Titanium silicide 형성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2012 .06
RTA 방법에 의하여 제작한 TiN / TiSi 2 의 특성 분석 ( The Characteristics of TiN / TiSi2 Bilayer on Si by RTA in N2 Ambient )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)
한국재료학회지
1991 .01
RAPID THERMAL ANNEAL에 의한 TiN / TiSi₂구조 형성에 관한 연구(Ⅰ)
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Rapid Thermal Anneal 에 의한 TiN / TiSi2 구조 형성에 관한 연구 ( Ⅰ ) ( Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal ( Ⅰ ) )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Effect of HF and In-Situ RF Cleaning on the Growth of TiSi2
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Heavily doped Si에서 Ti 증착 온도가 $TiSi_2$ orientation 및 thermal instability 에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
2단계 급속열처리에 의한 TiN/TiSi₂ 이중구조막의 특성
전기학회논문지
1992 .12
Characterization of TiN/TiSi2 System by Two Step Rapid Thermal Anneal
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1992 .01
Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
Characteristics of TiN/TiSi₂ Contact Barrier Layer by Rapid Thermal Anneal in N₂ Ambient
전기학회논문지
1992 .06
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