저에너지 이온 주입 방법으로 형성된 박막 p+-n접합의 열처리 조건에 따른 특성

김재영 ,  이충근 ,  홍신남 외 2명

전자공학회논문지-SD

2004 .05

박막 p+-n 접합 형성과 보론 확산 시뮬레이터 설계

이충근 ,  김재영 ,  김보라 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Cobalt Silicide and its Growth Rate by Rapid Thermal Annealing ( RTA ) )

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Effect of Rapid Thermal Annealing on Growth and Field Emission Characteristics of Carbon Nanotubes

Ko ,  Sung-Woo ,  Shin 외 14명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01

Effect of Dry Process on Dielecrtic properties of PZT Thin Films Prepared by Sol-Gel Process

Kwangsoo No ,  Kee-Jeo Lim ,  Min-Ho Bae 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 ,  한성욱 ,  박상균 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Improvement of Thermal Stability of Ni-Silicide Using Vacuum Annealing on Boron Cluster Implanted Ultra Shallow Source/Drain for Nano-Scale CMOSFETs

Hong-Sik Shin ,  Se-Kyung Oh ,  Min-Ho Kang 외 2명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2010 .12

RTA 후 FA 공정을 포함한 P⁺-n 박막 접합 특성

한명석 ,  김재영 ,  이충근 외 1명

전자공학회논문지-SD

2002 .05

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

투과전자현미경을 이용한 $n^+$/p 접합에서 불순물의 이차원적 분포에 관한 연구

Pa ,  k ,  Chel-Jong 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

6H-SiC P^(+)n 접합의 항복 전압을 위한 해석적 모형 ( Analytical Model of Breakdown Voltages for 6H-SiC p^(+)n Junction )

정용성

전자공학회논문지-SD

2001 .06

Formation of Shallow Phosphorus Layers by Rapid Thermal Processing Using a Solid Diffusion Source

Kyeong-Tae Kim ,  Choong-Ki Kim ,  Byung-Jin Cho 외 1명

JOURNAL OF KIEE

1988 .09

박막 접합 형성을 위한 열처리 방법에 관한 연구

한명석 ,  김재영 ,  이충근 외 1명

전자공학회논문지-IE

2002 .03

금속 유도 측면 결정화를 이용한 박막 트랜지스터의 RTA 후속열처리 효과

최진영 ,  윤여건 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

RTA처리한 PZT 박막의 강유전 특성

鄭圭元 ,  朴暎 ,  朱弼淵 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

Rapid Thermal Annealing 후열처리 조건에 따른 ZnO 박막의 특성

김지홍 ,  조대형 ,  구상모 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11