Two-Step Rapid Thermal Diffusion of Phosphorus into Silicon from a Solid Diffusion Source

Jeong Gyoo Kim ,  Dong Youb Lee ,  Choong Ki Kim

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

고체 확산 소오스를 사용한 인과 붕소의 실리콘으로의 2단계 고속 열 확산 ( Two - Step Rapid Thermal Diffusion of Phosphorus and Boron into Silicon From Solid Diffusion Sources )

김충기 ,  김정규

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

고체 확산 소오스를 사용한 인과 붕소의 실리콘으로의 2단계 고속 열 확산 ( Two-Step Rapid Thermal Diffusion of Phosphorus and Boron into Silicon from Solid Diffusion Sources )

김충기 ,  김정규

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

RAPID THERMAL PROCESSING CHARACTERIZATION

C. B. Ya ,  ling ,  W. A. Keenan

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

고속열확산 공정에 의해 형성된 Phosphorus Source/Drain을 갖는 NMOS 트랜지스터의 특성 ( Characteristics of NMOS Transistors with Phosphorus Source/Drain Formed by Rapid Thermal Diffusion )

조병진 ,  김정규 ,  김충기

전자공학회논문지

1990 .09

FORMATION OF ULTRA SHALLOW JUNCTION USING ADDITIONAL RAPID THERMAL ANNEALING ( RTA ) PROCESS

Kil Ho Lee ,  Sang Ho Yu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02

SHALLOW JUNCTION DIODE FORMATION USING EPITAXIAL $CoSi_2$ AS A DIFFUSION SOURCE

Bae ,  K. S. ,  Koo 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Influence of Rapid Shear-rate Changes on Microstructure Formation during Semi-solid Processing

Xin LIN ,  Tao LI ,  Weidong HUANG

기타자료

2006 .09

고속열확산을 이용한 인확산 접합의 특성 분석과 다이오드 제작 ( Analyzing of Rapid Thermal Diffusion of Phosphorus and the Diode Fabrication )

노병규 ,  김종환 ,  박광균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

소양호에서 인의 존재 형태별 분포에 관하여

김범철 ,  허우명 ,  황길순 외 2명

환경연구

1996 .12

RTP에 의한 인 고체 확산 소스의 얇은 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on Shallow Junction of Phosphorus Solid Source by RTP Process )

주정규 ,  노병규 ,  이성욱 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

고속열확산에 의한 얕은 접합 형성과 Ti-실리사이드화 된 n+ -P 다이오드 특성분석 ( The formation of the Shallow Junction by Rapid Thermal Diffusion and characteristic Analysis for n+ -p Diode with Ti-silicide )

최도영 ,  이성욱 ,  주정규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Sensing Technology for Rapid Detection of Phosphorus in Water: A Review

Islam ,  Sumaiya ,  Reza 외 5명

바이오시스템공학(구 한국농업기계학회지)

2016 .01

Application of phosphorus compounds for thermal stability enhancing of ABS

이경호 ,  배진영 ,  김진환

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

RAPID 2010

우윤환

한국CDE학회지

2010 .08

인이 첨가된 열 산화막의 화학 부식 ( Chemical Etching of phosphorus-doped Thermal Oxide Layer )

이재균 ,  지유철 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

인이 첨가된 열 산화막의 화학부식

이재균 ,  지유철 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

Fabrication of phosphorus doped ZnO thin film using multi-layer structure

강홍성 ,  임성훈 ,  장현우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

소양호 유역과 가두리로부터의 인부하량 및 인수지(Phosphorus Budget)

허우명 ,  김범철 ,  안태석 외 1명

환경연구

1993 .12