금속 유도 측면 결정화법에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 스트레스 효과에 대한 연구

정원철 ,  인태형 ,  이병일 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

RTA 후속 열처리에 의한 $Ta_{2}O_{5}-Si$ 계면 반응과 전기적 특성 변화

전석룡 ,  이정엽 ,  한성욱 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

RTA에 따른 Sr_0.7Bi_2.3Nb₂O₉ 박막의 표면특성

김진사 ,  서동수 ,  신철기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

이중 금속 측면 결정화를 이용한 400。C 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작 및 그 특성에 관한 연구 ( Fabrication and characteristics of poly - Si thin film transistors by double - metal induced lateral crystallization at 400˚C )

이병일 ,  정원철 ,  김광호 외 2명

전자공학회논문지-D

1997 .04

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 ,  한성욱 ,  박상균 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

전기적 스트레스가 금속 유도 측면 결정화에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 누설 전류에 미치는 영향 ( The electrical stress effect on the leakage current of poly-Si thin film transistors fabricated by metal induced lateral crystallization )

인태형 ,  이병일 ,  이석운 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .09

산화물 박막 커패시터의 RTA 처리와 유전 특성에 관한 연구

김인성 ,  이동윤 ,  조영란 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

새로운 구조의 금속 유도 측면 결정화에 의한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구

인태형 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RTA 공정을 이용한 Cu₂ZnSnSe₄ 광흡수층 박막 제조

신기식 ,  정국영 ,  곽지혜 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2013 .05

RF 마그네트론 스퍼터링 공정 기반의 TiOx 박막 트랜지스터의 RTA 열처리에 의한 전기적 특성 변화

Bu ,  anov Ruslan ,  최병근 외 10명

한국통신학회 학술대회논문집

2019 .01

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

Slip 현상을 줄이기 위한 RTA ( 고속열처리 ) 장치 설계모델링 ( RTA System Design Modeling to Reduce Slip )

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

기상유도결정화와 후속 Pulsed RTA를 이용한 다결정 실리콘 박막의 제조

강승모 ,  이승렬 ,  안경민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Slip 현상을 줄이기위한 RTA(고속열처리)장치 설계모델링

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

RTA 처리에 의해 결정화된 PZT박막의 Crack 발생에 대한 연구

강희수 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

반응로 벽면 반사효과를 고려한 RTA 설계 ( RTA design considered reactor side wall reflex effect )

장현룡 ,  권경섭 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

급속 열처리가 a-IGZO 박막의 전도에 미치는 영향

조원주 ,  김도훈

전기전자재료학회논문지

2016 .01

LCD 제작용 급속 열처리 시스템내의 광학 및 열전달 특성

이성혁 ,  김형준 ,  신동훈 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04