MECHANISM OF THE ENHANCED GROWTH IN LATERAL SOLID-PHASE EPITAXY OF GE-AND P-INCORPORATED AMORPHOUS SI FILMS

Jeong Hee Oh ,  Chul Ju Kim ,  Hi 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

Kinetics and Microstructure During Solid Phase Crystallization of Amorphous Si / Si1-xGex Bilayer on SiO2

Myung Kwan Ryu ,  Jin Won Kim ,  Tae Hoon Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Hydrogen Effects on Heteroepitaxial Growth of Ge Films on Si ( 111 ) Surfaces by Solid Phase Epitaxy

H. Ikeda ,  A. Muto ,  M. Okada 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Amorphous Si의 제작과 특성

성영권 ,  이병득 ,  민병무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1984 .07

$SiO_2$위에 증착된 $Si_{1-X}Ge_X$합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구

김홍승 ,  이정용 ,  이승창 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

고상 성장법을 이용한 실리콘 태양전지 에미터 형성 연구

김현호 ,  지광선 ,  배수현 외 7명

Current Photovoltaic Research

2015 .09

Solid Phase Epitaxy 방법으로 성장시킨 $Mn_4Si_7$ , ${\beta}-FeSi_2$ 박막의 전, 자기적 특성

유상수 ,  서상원 ,  임영언 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

SiO2 위에 MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) 로 증착한 비정질 Si1-xGex 박막의 결정화 거동 및 결정화후 미세조직에 관한 연구 ( A Study on the Crystallization Behaviors of Amorphous Si1-xGex Films Deposited by MBE ( Molecular Beam Epitaxy ) on SiO2 and on their Microstructures after annealing )

황장원 ,  류명관 ,  김기범

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Solid-Source Si Molecular Beam Epitaxy를 이용한 Si , SiGe 박막의 선택적 성장기술의 연구

윤선진 ,  이승창

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

분자선에피텍시를 이용하여 성장한 $Si_{1-x}Ge_{x}$/Si 이종접합구조에서의 In Situ-Doped Boron 의 확산 거동에 관한 연구

윤선진 ,  이승창 ,  박신종

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04

A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control

Eui Hoon Hwang ,  Se Jin Chung ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

REDUCTION OF SIO₂ BY SOLID CARBON AND GAS SPECIES FOR MG-SI

Eun Jin JUNG ,  Byung Moon MOON ,  Dong Joon MIN

AFORE

2011 .11

SOLID PHASE CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM BY SURFACE ACTIVATION TREATMENT

Lee ,  Ui-S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Silicon Epitaxy

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01