MECHANISM OF THE ENHANCED GROWTH IN LATERAL SOLID-PHASE EPITAXY OF GE-AND P-INCORPORATED AMORPHOUS SI FILMS

Jeong Hee Oh ,  Chul Ju Kim ,  Hi 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

Heteroepitaxial Growth of Cubic SiC Films on Si Without Carbonization

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Heteroepitaxial Growth by MBE

강태원 ,  임재영

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

HETEROEPITAXIAL GROWTH OF HIGH QUALITY $Y_2O_3$ FILM ON AMORPHOUS $SiO_2$ LAYER

Cho ,  M.H. ,  Whangbo 외 15명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PAE에 의한 GaAs / Ge / Si구조를 의한 Si기판위의 Ge 결정성장 ( Ge crystal growth on Si substrate for GaAs / Ge / Si structure by Plasma Assisted Epitaxy )

김성수 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

GaAs/Ge/Si 구조를 위하여 PAE법을 이용한 Si 기판위에 Ge 결정성장 ( Ge Crystal Growth on Si Substrate for GaAs/Ge/Si Structure by Plasma-Asisted Epitaxy )

박상준 ,  박명기 ,  최시영

전자공학회논문지

1989 .11

Prevention of degradation in poly $Si_{1-x}Ge_x$/high K structure by controlling Ge content in poly $Si_{1-x}Ge_x$ films

Ko ,  D.H. ,  Kang 외 13명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Domain formations in heteroepitaxial lead titanate films fabricated by hydrothermal epitaxy below Curie temperature

안세형 ,  최시경

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

축적된 Ge층이 Si₁-ₓGeₓ/Si의 산화막 성장에 미치는 영향

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화

임정욱 ,  강상원 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

고상 성장법을 이용한 실리콘 태양전지 에미터 형성 연구

김현호 ,  지광선 ,  배수현 외 7명

Current Photovoltaic Research

2015 .09

$SiO_2$위에 MBE(Moleculat Beam Epitaxy)로 증착한 비정질 ${Si_{1-x}}{Ge_x)$박막의 결정화거동

황장원 ,  황장원 ,  김진원 외 3명

한국재료학회지

1994 .01

Solid Phase Epitaxy 방법으로 성장시킨 $Mn_4Si_7$ , ${\beta}-FeSi_2$ 박막의 전, 자기적 특성

유상수 ,  서상원 ,  임영언 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

초고진공 전자공명 화학기상증착법을 이용한 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막의 저온에피성장

주성재 ,  황석희 ,  황기현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Role of a Surfactant in Ge / Si Growth

Chan Wuk Oh ,  Eun Ja Kim ,  Young Hee Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Solid-Source Si Molecular Beam Epitaxy를 이용한 Si , SiGe 박막의 선택적 성장기술의 연구

윤선진 ,  이승창

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

분자선에피텍시를 이용하여 성장한 $Si_{1-x}Ge_{x}$/Si 이종접합구조에서의 In Situ-Doped Boron 의 확산 거동에 관한 연구

윤선진 ,  이승창 ,  박신종

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Surface Treatment of Ge Grown Epitaxially on Si by Ex-Situ Annealing for Optical Computing by Ge Technology

Xiaochi Chen ,  Yijie Huo ,  Seongjae Cho 외 5명

IEIE Transactions on Smart Processing & Computing

2014 .10