Reducing Crystallization Temperature and Time of a LPCVD Amorphous Silicon Thin Film in Al / Amorphous Si Structure

김진혁 ,  이정용

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

EFFECT OF DEPOSITION CONDITIONS AT THE HETEROGENEOUS NUCLEATION SITES ON THE CRYSTALLIZATION BEHAVIOR OF LPCVD a-Si FILMS ON $SiO_2$

Ryu ,  M.K. ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화 거동

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Si$O_{2}$/a-Si 핵생성 계면제어에 의한 조대한 다결정 실리콘 박막의 제조

정세진 ,  황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

고상 결정화법을 위한 새로운 공정조건으로 제작된 다결정 Si 박막의 태양전지 특성 평가

권순용 ,  정지현 ,  Yuguo Tao 외 3명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

SOLID PHASE CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON THIN FILM BY SURFACE ACTIVATION TREATMENT

Lee ,  Ui-S. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Selective Crystallization of LPCVD a-Si Films using SiO2 Mask by Metal Adsorption Method

손동균 ,  최용우 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구

최용우 ,  이정노 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

핵생성 계면 제어된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조

황의훈 ,  정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

The Substrate Effects on Kinetics and Mechanism of Solid-Phase Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films

Yoon-Ho Song ,  Seung-Youl Kang ,  Kyoung Ik Cho 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

1997 .02

LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화에 미치는 기판의 영향 ( The Effects of the Substrates on the Solid Phase Crystallization in LPCVD Amorphouse Silicon Films )

마대영 ,  박기철 ,  김기완

전자공학회논문지-A

1992 .06

Microwave-Enhanced Low-Temperature Crystallization of Amorphous Silicon Films for TFTs

Ahn ,  Jin-Hyung ,  Eom 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01