텅스텐 실리사이드막 식각시 발생되는 Microloading Effect Microloading Effect in Tungsten Silicide Etching

전범진 ,  이호석 ,  이동덕 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

차세대 노광공정용 Ta박막의 $0.2\mu\textrm{m}$ 미세패턴 식각특성 연구

우상균 ,  김상훈 ,  주섭열 외 1명

한국재료학회지

2000 .01

Multi-pole Inductively Coupled Plasma(MICP)를 이용한 Via Contact 및 Deep Contact Etch 특성 연구

설여송 ,  김종천

한국반도체장비학회지

2003 .01

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Etching Characteristics of Contact Holes with a Phase-Controlled Pulsed Inductively Coupled Plasma

신경섭 ,  강창진 ,  정철 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

XPS Analysis of Oxide Etch Polymer in Inductively Coupled High Density Plasmas

Pa ,  k ,  Jae-Hyun 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

A Reproducible High Etch Rate ICP Process for Etching of Via-Hole Grounds in 200 ㎛ Thick GaAs MMICs

D. S. Rawal ,  Vanita R. Aga ,  wal 외 6명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2008 .09

높은 종횡비의 Contact 식각공정에서 발생하는 왜곡현상 개선에 관한 연구

최규화 ,  정규찬 ,  한상범 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

Study of Surface Reaction and Gas Phase Chemistries in High Density C4F8/O2/Ar and C4F8/O2/Ar/CH2F2 Plasma for Contact Hole Etching

김관하

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

GPU based 3D feature profile simulation for high-aspect ratio contact hole etch process in fluorocarbon plasmas

Yeong-Geun Yook ,  Won-Seok Chang ,  Poo-Reum Chun 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

A study on the analysis of a novel RF filter responses due to the change of etch hole offset dimensions

Yongsung Kim ,  Ignacio Llamas-Ga ,  o 외 2명

대한전자공학회 ISOCC

2006 .10

알루미늄 미세 홀 전해에칭

지원영 ,  김한 ,  정도관 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

Etch의 기술 개발 및 Etch와 Lithography 기술 시장 동향

이종근

전자공학회지

2013 .12

에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션

정흥철 ,  김영진 ,  정지원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04