Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

A Reproducible High Etch Rate ICP Process for Etching of Via-Hole Grounds in 200 ㎛ Thick GaAs MMICs

D. S. Rawal ,  Vanita R. Aga ,  wal 외 6명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2008 .09

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

금속 접촉 저항에 대한 RF 식각 조건의 영향

金度宇 ,  鄭哲謨 ,  丘庚完 외 1명

전기학회논문지 C

2002 .04

RF / IF Front-end Design

윤찬의

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

RF필터 튜닝 자동화 장치 개발 동향

장상문 ,  박진호

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .04

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

알루미늄 미세 홀 전해에칭

지원영 ,  김한 ,  정도관 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

Plasma Etching for saw damage removal Using RF DBD

Min Guk Ko ,  Jong Guen Yang ,  Heon Ju Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Sample Adaptive Offset에서 Edge Offset 모드의 효율적인 부호화 방법

변주원 ,  홍윤표 ,  김재석

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

Etch의 기술 개발 및 Etch와 Lithography 기술 시장 동향

이종근

전자공학회지

2013 .12

에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션

정흥철 ,  김영진 ,  정지원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

InP nano-HEMT 구현을 위한 InP etch stop 층의 low damage Ar plasma etching 연구

노진현 ,  안호정 ,  오용하 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11

MEMS 적용을 위한 Thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 반응성 이온 Etching 특성 평가

최기용 ,  최덕균 ,  박지연 외 1명

전기전자재료학회논문지

2004 .01