Quarter Micron Device 이후 동향

이경호 ,  김준희

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Photoresist Technology

김진백

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

The Novel Water Developable Photoresist for Deep UV Lithography

정민호 ,  김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .04

Wafer auto-Focus System for Sub-quarter Micron Lithography Tools

김도훈 ,  이각현 ,  정해빈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

RC Time Delay of the Interconnection in Sub-Quarter-Micron VLSI Circuit

장명준 ,  이희덕 ,  안재경 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

정보기능용 고분자 ( Photoresist )

김진백

고분자 과학과 기술

1990 .11

Sub 2-Micron CMOS 개발

최민성

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

PR(Photoresist) 분사량 측정에 관한 연구

신동원 ,  이성영 ,  김상식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

Photolithography Process of Organic Thin Film with A New Water Soluble Photoresist

Kim ,  Kwang-Hyun ,  Song 외 1명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01

Sub-Quarter-Micron Pt Etching Technology using round head EB Resist

Takashi Yunogami ,  Takao Kumihashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Fabrication of inorganic long micron/sub-micron tubes using fibrous polymers as templates

김영백 ,  정은선

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

Photoresists for Interface and Thin Layer Imaging Processes

김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Reduction of Junction Leakage Current by Phosphorus Co-Ion Implantation in Quarter-Micron MOSFETs

이기민 ,  이희덕 ,  이상기 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Image Reversal 공정을 이용한 Sub-Micron 게이트의 제작 ( The Fabrication of a Sub-Micron Gate Using IR Processes )

이일형 ,  김상명 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

Negative Thick Photoresist를 이용한 100㎛ 높이의 금속 구조물의 제작에 관한 연구

장현기 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

Synthesis of Imide Monomers for Application to Organic Photosensitive Interdielectric Layer

Kwon ,  Hyeok-Yong ,  Vu 외 6명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

A Novel 193 nm Photoresist Containing Silicon Compound

손민석 ,  강영종 ,  김응렬 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향

허훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Effects of Fluorine for Photoresist Properties

김진백 ,  김영우 ,  권영길 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

네가티브 포토레지스트용 아크릴레이트계 바인더 합성

김난수 ,  남병욱

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01