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Sub-Halfmicron Lithography Using an I-line Modified Illumination Techniques
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
Sub-halfmicron 급 소자분리를 위한 SIROX Isolation의 물리적, 전기적 특성 고찰
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
Registration Accuracy and Critical Dimension Control for Sub-Halfmicron Device with Deep UV Stepper
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
ADVANCED LITHOGRAPHY
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰
전자공학회지
2001 .08
New Developments in 1 : 1 Optical Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
Ultra-extensive area symmetric block copolymer lithography enabled by I-line photo-lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2012 .10
X-ray Lithography Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Optical Lithography at Low K Factors
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Lithography 기술 현황 및 향후 전망
전자공학회지
1992 .05
E-beam Lithography ( Equipment )
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
SLA 를 이용한 광경화 구조물의 색상개선에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Dynamic Response of Acoustic Delay Line for Beam Lines of SR Lithography System
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
A Trend of Advanced Lithography Development
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2005 .01
전자-빔 Lithography 근접효과에 대한 노출강도 분포의 최적화법 ( Optimization of EID Function for Proximity Effect in Electron Beam Lithography )
전자공학회지
1985 .09
X-Ray Lithography With High Power Laser
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
Performance Enhancement Algorithm Based on Delay Optimization
JTC-CSCC : Joint Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
1995 .01
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